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石英棒生產(chǎn)過程中的技術(shù)有哪幾點
上傳時間:2020年11月24日 15:52:40
  錦州坩堝解析石英棒生產(chǎn)過程中的技術(shù)有哪幾點:
 ?。?)蝕刻以化學蝕刻的方法,去掉經(jīng)上幾道工序加工后在晶片表面因加工應(yīng)力而產(chǎn)生的一層損傷層。
 ?。?)去疵用噴砂法將晶片上的瑕疵與缺陷感到下半層,以利于后序加工。
 ?。?)拋光對晶片的邊緣和表面進行拋光處理,一來進一步去掉附著在晶片上的微粒,二來獲得表面平整度,以利于錦州坩堝后面所要講到的晶圓處理工序加工。
  (4)清洗將加工完成的晶片進行徹底清洗、風干。
 ?。?)檢驗進行檢驗以保證產(chǎn)達到規(guī)定的尺寸、形狀、表面光潔度、平整度等技術(shù)指標。
 ?。?)包裝將成品用柔性材料,分隔、包裹、裝箱,準備發(fā)往以下的芯片制造車間或出廠發(fā)往訂貨客戶。
  以上就是錦州坩堝解析石英棒生產(chǎn)過程中的技術(shù)要點,希望對您有所幫助。
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