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解析石英坩堝析晶及應(yīng)對措施
上傳時間:2021年01月19日 14:04:55
  一、產(chǎn)生析晶的原因  
  1 石英坩堝受到沾污。佑鑫石英在所有石英坩堝的沾污中堿金屬離子K Na Li和堿土金屬離子Ca Mg這些離子的存在是石英坩堝產(chǎn)生析晶的主要因素。   
  2 在操作過程中因操作方法不當也會產(chǎn)生析晶如在防止石英坩堝和裝填硅料的過程帶入的汗水口水油污塵埃等。   
  3 新的石墨坩堝未經(jīng)徹底煅燒或受到沾污就投入使用是造成石英坩堝外層析晶的主要原因。  
  4.用于拉晶的原料純度低所含雜質(zhì)太多或清洗工藝存在問題。   
  5. 熔料時溫度過高也將加重析晶的程度。   
  6. 石英坩堝的生產(chǎn)清洗包裝過程中受到沾污。
  二、析晶對拉晶的影響   
  1 石英坩堝內(nèi)壁發(fā)生析晶時有可能破換坩堝內(nèi)壁原有的涂層這將導(dǎo)致涂層下面的氣泡層和熔硅發(fā)生反應(yīng)造成部分顆粒狀氧化硅進入熔硅內(nèi)使得正在生長中的晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生變異而無法正常長晶。
  2 析晶將減薄石英坩堝原有的厚度降低了坩堝的強度容易引起石英坩堝的變形。 
  三、防止減少析晶的方法
  1 石英坩堝的生產(chǎn)廠商要保證其生產(chǎn)的坩堝從用料到生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)都符合質(zhì)量要求。
  2 在單晶生產(chǎn)的整個過程中應(yīng)嚴格按照工藝規(guī)程認真操作。
  3 拉晶所用的原料純度一定要符合生產(chǎn)要求,佑鑫石英如果原料本身所含雜質(zhì)較多在溶料過程中也會造成析晶。
  4 原料的清洗一定要符合工藝要求,將過酸或堿處理的原料如果未將酸堿殘液沖洗徹底易造成析晶。
  5 新的石墨器件如石墨坩堝因含有一定的灰粉和其它雜質(zhì)在投入使用前須經(jīng)過徹底的高溫煅燒才能使用。  
  6 熔料時應(yīng)選用合適的熔料溫度以減少析晶或降低析晶的程度。 
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