大尺寸高性能合成石英玻璃取得突破
上傳時(shí)間:2021年03月03日 10:53:53
中國(guó)建材集團(tuán)科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)中國(guó)建筑材料工業(yè)石英玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在國(guó)家“十一五”科技攻關(guān)支持下,錦州坩堝自主研究開(kāi)發(fā)的立式氣相沉積高性能合成石英玻璃(JGS1)取得重大突破?,F(xiàn)可生產(chǎn)國(guó)內(nèi)最大的Φ600mm的單個(gè)石英玻璃坨,其重量達(dá)到200千克,可加工尺寸Φ10~900mm的各類(lèi)高性能石英玻璃板材,已形成年產(chǎn)量20余噸高性能石英玻璃生產(chǎn)線(xiàn);產(chǎn)品的光學(xué)均勻性達(dá)到1×10-6,性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。產(chǎn)品在質(zhì)量、數(shù)量完全滿(mǎn)足航天及“神光工程”等工程的研制需求;并且已遠(yuǎn)銷(xiāo)日本、韓國(guó)、美國(guó)等多個(gè)國(guó)家和地區(qū),訂貨量逐年遞增。
該生產(chǎn)線(xiàn)屬科研成果轉(zhuǎn)為生產(chǎn)進(jìn)入市場(chǎng)開(kāi)發(fā)的示范之一。錦州坩堝科研人員自1998年起致力于高性能石英玻璃的生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品性能的科技攻關(guān)。在生產(chǎn)工藝上敢于創(chuàng)新,打破傳統(tǒng)臥式CVD工藝的生產(chǎn)模式,發(fā)明了立式CVD合成石英玻璃新工藝,于2002年取得實(shí)驗(yàn)室突破;立式工藝的突破大大提高了JGS1石英玻璃的產(chǎn)品尺寸、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率,2003年申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利并獲得授權(quán)。
與此同時(shí),采用多項(xiàng)特殊專(zhuān)利技術(shù)和裝備,不斷提高JGS1石英玻璃的產(chǎn)品性能。國(guó)家安全和石英玻璃質(zhì)量監(jiān)督檢測(cè)中心為產(chǎn)品性能檢測(cè)配備了激光干涉儀、原子吸收光譜、紫外-紅外分光光度計(jì)、錦州坩堝定量應(yīng)力儀、條紋儀、氣泡檢測(cè)儀及光學(xué)顯微鏡等各類(lèi)檢測(cè)儀器,為用戶(hù)提供準(zhǔn)確可靠的產(chǎn)品性能檢驗(yàn)。經(jīng)產(chǎn)品檢測(cè)和重點(diǎn)用戶(hù)使用,大尺寸高性能合成石英玻璃的光學(xué)、理化等性能達(dá)到國(guó)際少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家同類(lèi)產(chǎn)品水平,成為我國(guó)惟一具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),以院士為核心,與企業(yè)相結(jié)合的研發(fā)高性能合成石英玻璃的基地。